Машина вибрирует при холостых

около месяца как заметил машина вибрирует при холостых. Когда едешь всё нормально. Диагностику проводил с помощью ELM. Выдаёт 0420 и 0101. заслонку промывал на днях. какой последовательностью искать проблему?