Здравствуйте, Уважаемый автовладелец!
Помимо перечисленных проверенных элементов, также вероятные причины проблемы:
неправильно установленный или перескочивший ремень (цепь) ГРМ,
изношенные гидрокомпенсаторы,
"разболтавшийся" шкив коленвала,
прогоревшая прокладка ГБЦ.
Вероятно Вам будет полезна статья на нашем сайте:
https://blamper.ru/auto/wiki/dvigatel/troit-dvigatel-116495
Россия, Subaru Legacy