Все вопросы о Mazda

Ошибка Р0403, что делать?

Добрый день, в течении дня ездил на автомобиле, все было в порядке, но в один определенный момент заглушил, а когда почти сразу завелся, то через 2 минуты загорелся Check eng. Скан выдал ошибку Р0300, Р0303, Р0403, В1318. Проверил все вакуумные шланги, все разъемы подключения, вроде все в порядке. Сканом стер ошибки, а когда пере включил зажигание вновь вылезла ошибка Р0403, при этом двигатель работает ровно, потери мощности не ощущается. С EGR снимал вакуумный шланг, двигатель продолжал работать ровно. Шток клапана EGR ходит свободно, без залипаний. В чем может быть неисправность и как ее устранить. Заранее благодарен.
Без ответа