Здравствуйте, Уважаемый автовладелец!
Вибрация может возникать в основном по двум причинам: слишком низкие обороты холостого хода или повреждение одной из опор двигателя (ну или обе причины в совокупности). В этом случае необходимо в первую очередь проверить опоры двигателя.
Россия, Subaru Legacy