Здравствуйте, Уважаемый автовладелец!
Такие обороты холостого хода при прогретом двигателе - это норма. А вот причину вибрации следует искать глубже. Для начала стоит попробовать сменить моторное масло.
Также желательно провести компьютерную диагностику.
Россия, Subaru Legacy