Здравствуйте, Уважаемый автовладелец!
Если наблюдается именно вибрация, то в первую очередь необходимо проверить опоры(подушки) двигателя, а вот если наблюдаются рывки, то в первую очередь стоит проверить топливный и воздушный фильтра, а далее проверять сам двигатель и КПП.
Россия, Subaru Legacy