Здравствуйте. Вероятными причинами вибрации дизельного двигателя как правило становится неравномерная производительность топливных форсунок по причине загрязнения и / или недостаточное давление топлива создаваемое ТНВД. Давление от ТНВД вы вероятно почувствуете на ходу снижением тяги.
В данном случае рационально будет обратиться в дизель-сервис для диагностики, тк проверки требуют спец оборудования.
Россия, Subaru Legacy