Здравствуйте!
Чистка датчика (что расхода воздуха, что кислорода) вообще дилетантское занятие потому что в случае неисправности или некорректной работы датчики меняются, а в случае попадания масла в ДМРВ надо устранять причину попадания масла.
Так что "правильно почистить" датчик нельзя - правильно датчики менять, сколько бы они ни стоили.
Мытищи, LADA (ВАЗ) 2120