Приветствую. Попробуйте еще почистить форсунки двигателя, а также замерить компрессию в цилиндрах. Еще, обязательно посмотрите подушки двигателя - возможно в них причина. Вообще же, при вибрации двигателя причин может быть довольно много. Не помешает также проверить вв-провода и лямбда-зонд.
Сумы