Здравствуйте, Уважаемый автовладелец!
При наличие в двигателе гидрокомпенсаторов причина может быть в них. В этом случае стоит попробовать заменить моторное масло и промыть гидрокомпенсаторы.
Если гидрокомпенсаторы отсутствуют, то следует проверить регулировку клапанов.
Россия, Subaru Legacy