Здравствуйте.
Причин вибрации может быть достаточно много. Среди них некачественное топливо, загрязненное (или некачественное) моторное масло, свечи зажигания, ну и конечно подушки силового агрегата (двигателя).
Для начала попробуйте сменить АЗС. Далее стоит заменить моторное масло и заодно еще раз проверить подушки двигателя, а также проверить состояние свечей зажигания. Еще одной причиной повышенной вибрации двигателя могут быть неисправные (или забитые) топливные форсунки.
Также стоит еще раз проверить все элементы подвески, балансировку колес, а также крепежные подушки выхлопной системы.
Россия, Subaru Legacy